近幾年，臺積電坐穩(wěn)晶圓代工龍頭老大，在先進制程超越三星、英特爾等對手，后來在 EUV（極紫外光）量產(chǎn)也領(lǐng)先，技術(shù)上彎道超車英特爾。但臺積電前研發(fā)副總、浸潤式微影之父林本堅日前回憶一段往事，提到臺積電早年發(fā)展相當艱辛，2002年英特爾號召業(yè)界成立EUV LCC聯(lián)盟，臺積電也想加入，但當初只限6家廠商，最后一個名額被IBM搶走，臺積電就被排除在外，不過臺積電轉(zhuǎn)往浸潤式微影技術(shù)發(fā)展，后來EUV 量產(chǎn)領(lǐng)先，甚至超車當年成立聯(lián)盟的英特爾。

財訊快報報導，林本堅日前受訪時表示，2002年英特爾拉攏摩托羅拉、AMD等公司成立EUV LCC聯(lián)盟，希望大家共同出資研發(fā)EUV設(shè)備，并應(yīng)用于未來的40nm與60nm。當時臺積電也希望加入EUV聯(lián)盟，但因當初只限定6家廠商，IBM搶走最后一個名額，臺積電無緣，而被排擠在外。

林本堅表示，臺積電無法參與EUV聯(lián)盟，只好自己想辦法，轉(zhuǎn)而研發(fā)浸潤式（Immersion）微影技術(shù)，直到近幾年的5nm制程，才采用艾司摩爾的EUV機臺設(shè)備。當年EUV聯(lián)盟的半導體企業(yè)中，除了英特爾之外，其他5家已退出芯片制造，而截至目前為止，英特爾尚未進入EUV量產(chǎn)，從先進制程技術(shù)來看，臺積電反而大幅超前，穩(wěn)居全球晶圓代工一哥寶座。

對于臺積電來說，現(xiàn)年79歲的前研發(fā)副總經(jīng)理林本堅是臺積電先進技術(shù)躍進重要推手，他在IBM工作22年后，選擇在美國自行創(chuàng)業(yè)將近10年，2000年在蔣尚義力邀下，加入臺積電團隊，并在2002年開始推動浸潤式微影技術(shù)，此項技術(shù)對全球半導體產(chǎn)業(yè)及臺積電先進制程貢獻極大。