7 月 17 日訊，半導(dǎo)體真空泵是半導(dǎo)體各制程中必備的通用設(shè)備，應(yīng)用于單晶拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程。據(jù)悉，國內(nèi)領(lǐng)先的螺桿壓縮機(jī)與真空泵設(shè)備供應(yīng)商漢鐘精機(jī)公司半導(dǎo)體真空設(shè)備目前在中芯國際已處于測(cè)試驗(yàn)證階段，具體進(jìn)度取決于中芯國際的安排。

　　此前，漢鐘精機(jī)在回答投資者提問時(shí)表示，公司真空泵主要用于半導(dǎo)體、光伏、鋰電池等行業(yè)，目前在半導(dǎo)體行業(yè)主要為進(jìn)口品牌，國產(chǎn)品牌占比很小，在光伏行業(yè)特別是單晶拉晶環(huán)節(jié)，公司占比較高，鋰電市場(chǎng)公司占比同樣較高。

　　目前，在中國臺(tái)灣已有臺(tái)積電、力積電、日月光、力成等半導(dǎo)體公司使用漢鐘精機(jī)真空泵，在中國大陸市場(chǎng)，該公司已成功通過國內(nèi)多家大型半導(dǎo)體企業(yè)的驗(yàn)證。

　　據(jù)了解，漢鐘精機(jī)公司專注于螺桿式壓縮機(jī)相應(yīng)技術(shù)的研制開發(fā)、生產(chǎn)銷售及售后服務(wù)，成就國內(nèi)壓縮機(jī)領(lǐng)軍企業(yè)。公司于 1998 年由臺(tái)灣漢鐘全資子公司海爾梅斯公司獨(dú)資成立，于 2007 年 8 月 17 日在深圳證券交易所上市。

　　自成立以來，公司專門從事螺桿式壓縮機(jī)相應(yīng)技術(shù)的研制開發(fā)、生產(chǎn)銷售及售后服務(wù)，經(jīng)過多年的發(fā)展，已成為集壓縮機(jī)的設(shè)計(jì)研發(fā)、生產(chǎn)制造、品質(zhì)保證、銷售服務(wù)各系統(tǒng)于一體的，在中國大陸頗有實(shí)力的壓縮機(jī)生產(chǎn)廠家，在螺桿式壓縮機(jī)領(lǐng)域擁有雄厚的技術(shù)實(shí)力。公司將螺桿式壓縮技術(shù)應(yīng)用于不同的工作工質(zhì)，如空氣、真空、制冷劑、特殊氣體等，成為全球應(yīng)用工質(zhì)最多的螺桿式壓縮機(jī)生產(chǎn)企業(yè)之一。

　　公司注重技術(shù)研發(fā)投入，經(jīng)歷多年發(fā)展和積累，在螺桿、渦旋、離心等壓縮機(jī)領(lǐng)域已擁有自己雄厚的技術(shù)實(shí)力。公司通過高溫?zé)岜?、ORC、閃蒸系統(tǒng)、電能管理系統(tǒng)、永磁無刷變頻、離心式等節(jié)能環(huán)保產(chǎn)品，為市場(chǎng)提供更全面服務(wù)。不斷加強(qiáng)研發(fā)投入和技術(shù)創(chuàng)新，取得了行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的技術(shù)研發(fā)優(yōu)勢(shì)。在 2019 年前三季度公司的研發(fā)投入費(fèi)用為 85.96 百萬元，占營業(yè)收入的 6.84%，同比增長(zhǎng) 1.18%。截至 2019 年上半年，公司已擁有 63 項(xiàng)專利，其中發(fā)明專利 6 項(xiàng)、實(shí)用新型專利 46 項(xiàng)、外觀設(shè)計(jì)專利 11 項(xiàng)。