《電子技術(shù)應(yīng)用》
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且慢激動(dòng),我們來(lái)分析下這臺(tái)國(guó)產(chǎn)先進(jìn)光刻機(jī),究竟是怎么回事

2022-02-14
來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀

近日,有媒體報(bào)道稱,國(guó)內(nèi)光刻機(jī)巨頭上海微電子,舉行了中國(guó)首臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)發(fā)運(yùn)儀式。同時(shí)還有媒體報(bào)道稱,這不僅是國(guó)內(nèi)首臺(tái),同時(shí)也是達(dá)到了全球頂尖水平。

于是網(wǎng)友們又沸騰了,激動(dòng)不已,各種“沸騰式”的文章、評(píng)論見諸媒體,大家都認(rèn)為有了這臺(tái)光刻機(jī),國(guó)內(nèi)芯片工藝說(shuō)不定能夠提高了,不必那么依賴ASML了。

為何這些網(wǎng)友會(huì)這么激動(dòng),原因在于當(dāng)前制造芯片時(shí),必須用到光刻機(jī),在所有的半導(dǎo)體設(shè)備中,光刻機(jī)的成本占到30%,非常核心。

貴當(dāng)然不要緊,能用錢解決的都不是問(wèn)題,問(wèn)題是進(jìn)入7nm必須用到EUV光刻機(jī),全球僅ASML能夠生產(chǎn),且無(wú)法賣到中國(guó)大陸來(lái),這就是大問(wèn)題了,有錢也買不著。

所以國(guó)內(nèi)一直希望能夠自研光刻機(jī),特別是EUV光刻機(jī),這樣我們就能夠不靠ASML也能進(jìn)入7nm了,中芯國(guó)際可是一直在等EUV光刻機(jī)的,等不到,就進(jìn)入不了7nm。

所以上海微電子一說(shuō)交付首臺(tái)先進(jìn)光刻機(jī),且達(dá)到了全球頂尖水平,大家馬上覺得是不是追上ASML了,是不是就是EUV光刻機(jī)了?是不是意味著我們的制造工藝能進(jìn)入7nm了?

事實(shí)上,這臺(tái)光刻機(jī)并不能幫助我們的芯片工藝進(jìn)入7nm,大家且慢激動(dòng),且慢沸騰,此光刻機(jī)非彼光刻機(jī)。

在芯片制造過(guò)程中,有兩種光刻機(jī),一種叫做前道光刻機(jī),一種叫做后道光刻機(jī),對(duì)應(yīng)的是芯片制造工藝流程中的前道工藝、后道工藝。

前道光刻機(jī)就是我們平時(shí)關(guān)注的光刻機(jī),ASML的EUV光刻機(jī),也是前道光刻機(jī),用于把電路圖刻到硅晶圓上的,這才是我們最缺少的、急需突破的光刻機(jī)。

而封裝光刻機(jī)是后道光刻機(jī),是用于封測(cè)階段的,其原理、作用都是完全不一樣的,這種光刻機(jī),我們并不缺少,上海微電子這次交付的就是后道光刻機(jī),從圖片就可以看出來(lái),這是一臺(tái)2.5D/3D先進(jìn)封裝光刻機(jī)。

在芯片封測(cè)上,大陸有三大巨頭,分別是長(zhǎng)蘇長(zhǎng)電、通富微電、天水華天,這三大巨頭可以排進(jìn)全球前10,目前能夠封測(cè)的芯片都達(dá)到了5nm,都是全球領(lǐng)先水平。

所以在封測(cè)這一塊,我們就不缺技術(shù),也不缺封測(cè)用的光刻機(jī),也不缺國(guó)產(chǎn)廠商,我們最需要的是前道光刻機(jī)的突破,這才是關(guān)鍵。

當(dāng)然,并不是指這臺(tái)先進(jìn)封測(cè)光刻機(jī)不好,只是說(shuō)它還解決不了我們芯片工藝前進(jìn)的問(wèn)題,大家別混為一談了。




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