8月7日消息，日前，河南東微電子材料有限公司（以下簡稱"東微電子"）宣布，其自主研發(fā)的光刻機用直線電機、光源、光纖、磁座等關鍵零部件，正式通過中芯國際和長鑫存儲嚴格認證。

東微電子表示，這不僅是一次技術突破，更是中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化進程中邁出的堅實一步。

據(jù)了解，2021年12月，國家五部門聯(lián)合發(fā)布的《重大技術裝備和產(chǎn)品進口關鍵零部件、原材料商品目錄（2021年版）》明確將光刻機用直線電機列為關鍵“卡脖子”項目，直線電機的制造和生產(chǎn)技術對我國打破國外光刻機技術壟斷具有重要意義。

面對技術封鎖，東微電子組建技術攻堅團隊，歷經(jīng)多年研究，對光刻機用關鍵零部件的特殊性能指標、極端使用環(huán)境和精密制備工藝發(fā)起全面攻關，對標國際頂尖，解決國產(chǎn)痛點。

據(jù)介紹，直線電機是光刻機運動平臺的核心零部件。

光刻機需將電路圖案以納米級精度“雕刻”在硅片上，直線電機直接驅(qū)動工作臺和掩模臺進行高速、超精密直線運動，其性能決定了定位精度和運動穩(wěn)定性。

隨著芯片制程進入納米時代，傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)電機+傳動機構的方式已難以滿足，直線電機憑借直接驅(qū)動、無機械損耗、響應快、精度高等優(yōu)勢成為唯一選擇。

高端光刻機用直線電機技術門檻極高，國內(nèi)市場嚴重依賴進口。

東微電子官網(wǎng)顯示，公司于2018年落戶河南省鄭州市航空港實驗區(qū)，并在上海、北京、無錫、廈門等地設有研發(fā)生產(chǎn)基地。

公司致力于成為高端集成電路制造用材料和設備零部件一站式服務平臺，為中國半導體解決“卡脖子”難題。